合肥先微半導體：高純電子氣體項目環(huán)境影響評價信息首次公示
2024-10-31 08:40
來源：隆眾資訊
作者：牟星子
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10月21日，合肥先微半導體材料有限公司將該項目環(huán)評的有關情況進行首次公示。1、提純：四氯化硅300噸/年、三氯化硼200噸/年、二氯二氫硅200噸/年、超純氮300噸/年、超純氬300噸/年、超純氦10噸/年、三氟化氮500噸/年、二氧化碳100噸/年、氧氣200噸/年、氫氣20噸/年；2、混配：磷烷+氫氣混合氣3000瓶/年、乙硼烷+氫氣混合氣3000瓶…
資訊編輯：牟星子
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